纳米级微位移测量的自由空间微光学光杠杆系统

摘要

一种纳米级微位移测量的自由空间微光学光杠杆系统，它包括半导体激光器，所述半导体激光器发出的激光入射到微准直透镜中，微准直透镜出来的反射光到悬臂梁-质量块系统中；从悬臂梁-质量块系统出来的光束由反射镜反射，其反射光经过波导界面投射到PSD光敏板上；所述的波导界面上镀有高反膜层，且波导界面与处理电路板相连接。采用上述技术方案的本实用新型，利用光刻、刻蚀等微光学加工技术，可以研制出平面集成的自由空间光杠杆式微加速度计。用微光学技术制造出的集成自由空间微光学系统，具有体积小，成本低，对准精度高，系统稳定，便于大批量生产等优点。