基于光杠杆原理的微位移测量系统设计

摘要

基于原子力显微镜的工作原理,设计了一种端点带反光镜的悬臂梁,实现光点位移放大,并利用位置敏感器件(PSD)将光点位置信息转换成光电流,从而设计出一种微位移测量系统.该系统结构简单、灵敏度高,适用于微小位移量的测量.文中给出了该测量系统检测原理,设计了信号处理电路,利用压电元件对悬臂梁端点微位移进行了检测.该系统可检测的线性位移量程为0 ～ 50μm,线性度为1.79％ FS,分辨力可达50nm.