晶圆生产设备的制程参数与设备参数快速分享装置

摘要

一种晶圆生产设备的制程参数与设备参数快速分享装置，其包括具有数据传输接口的计算机、接口转换装置及随插即用装置，该接口转换装置包含虚拟模块，并具有输入与输出端，输出端连接于该数据传输接口，输入端连接于随插即用装置，并供媒体储存或读取数据。如此，当晶圆生产设备的制程参数与设备参数有必须快速存储或分享的需要时，将媒体插入连接于晶圆生产设备计算机的随插即用装置，虚拟模块即会仿真实体的软盘机动作，读取欲存储或分享的制程参数与设备参数，达成晶圆生产设备简易更替及快速存储或分享制程参数与设备参数的目的。