一种晶圆制程工艺参数的反馈方法

摘要

本发明提供一种晶圆制程工艺参数的反馈方法，其中，包括：设备自动化程序管理单元根据加工设备装载的晶圆批次，获取当前的晶圆批次对应的产品信息并根据产品信息判断当前的批次晶圆需要执行的加工处理流程；若加工处理流程为第二加工处理流程，则采用默认的加工处理方式对晶圆进行加工处理；若加工处理流程为第一加工处理流程则获取每个待制程晶圆的对应的第一加工参数；加工设备根据第一加工参数，为对应的待制程晶圆创建对应的加工程序，加工设备根据加工程序为对应的待制程晶圆进行加工。其技术方案的有益效果在于，可来解决各主要工序在生产过程中由于Lot中各晶圆之间的差异所导致的尺寸均匀性问题，以达到先进工艺对尺寸均匀性的要求。