首页> 中国专利> 一种降低InP基InGaAs异变材料表面粗糙度的方法

一种降低InP基InGaAs异变材料表面粗糙度的方法

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明涉及一种降低InP基InGaAs异变材料表面粗糙度的方法，通过在InP基普通InGaAs半导体异变缓冲层上外延一层反向失配超薄外延层来实现降低异变材料表面粗糙度，其厚度不超过异变缓冲层上反向失配外延层的临界厚度，一般为0.5-5nm。本发明不需要在过低的生长温度下生长材料，避免引入多余背景杂质，工艺简单，成本低，具有良好的应用前景。

著录项

公开/公告号CN103066157B

专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-30

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
展开▼

申请/专利号CN201310005426.1
发明设计人顾溢;张永刚;
展开▼

申请日2013-01-07
分类号
代理机构上海泰能知识产权代理事务所;
代理人黄志达
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号5号楼505室
入库时间 2022-08-23 09:36:42

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-03-30

授权

授权
2013-07-03

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20130107

实质审查的生效
2013-04-24

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 一种降低InP基InGaAs异变材料表面粗糙度的方法 [P] . 中国专利： CN103066157B . 2016.03.30
2. 一种InP基InAlAs-InGaAs啁啾超晶格结构 [P] . 中国专利： CN208240685U . 2018-12-14
3. InP collector InGaAsSb base DHBT device and method of forming same [P] . 美国专利： US6670653B1 . 2003-12-30

机译： InP集电极InGaAsSb基DHBT器件及其形成方法
4. Method for determining surface roughness of building material, involves determining surface between profile line and linear mathematical function so as to determine surface roughness of building material [P] . 德国专利： DE102011004076A1 . 2012-08-16

机译：一种确定建筑材料表面粗糙度的方法，包括确定轮廓线与线性数学函数之间的表面，从而确定建筑材料的表面粗糙度。
5. METHOD FOR OBTAINING STEROID DERIVATIVES 1 The invention relates to a new method for producing steroid derivatives having a hydrocarbon residue in the 17a position, saturated or unsaturated, substituted or unsubstituted, or a dicloalkyl radical, and having physiological activity. a prenatal radical, for example, compounds of 3-oxo-13p-ethyl-17a-ethynyl-17, p-oxygone — 4,9,11-triene, consisting in the fact that 3-ethylenedioxy-17-oxo-13 is prepared first 3-ethylgon- 4,9,1 i-triene which is reacted with an ethynylation reagent followed by hydrolysis of the ketal group at the 3 G7a-ethynyl derivative position. However, the ketalization of the 3-oxo group of the corresponding 3,17-dioxosteroid is not selective, with a low yield of the intermediate 3-ketal, which reduces the yield of the target product. In addition, in the known method, a 4,9,11-trienoic steroid with a closed ring A is used as a starting product, which can be obtained with the complete synthesis of a steroid only from an [P] . SU422142A3 . 1974-03-30

机译：获得类固醇衍生物的方法1本发明涉及一种新的制备类固醇衍生物的方法，该类固醇衍生物具有在17a位上的烃基，饱和或不饱和，取代或未取代的，或二氯烷基基团，并具有生理活性。产前自由基，例如3-oxo-13p-ethyl-17a-ethynyl-17，p-oxygone-4,9,11-triene的化合物，其特征在于3-乙烯二氧基-17-oxo-13是首先准备使3-乙基贡-4,9,1 i-三烯与乙炔化试剂反应，然后水解3 G7a-乙炔基衍生物位置的缩酮基。然而，相应的3，17-二氧代甾族化合物的3-氧代基的缩酮化不是选择性的，中间体3-缩酮的产率低，这降低了目标产物的产率。另外，在已知方法中，具有闭环A的4,9,11-三烯类固醇被用作起始产物，其可以仅通过从甲壳素完全合成类固醇来获得。