X射线产生用靶、X射线产生装置以及X射线产生用靶的制造方法

摘要

本发明涉及X射线产生用靶、X射线产生装置以及X射线产生用靶的制造方法。X射线产生用靶具备基板和靶部。基板由金刚石构成，具有相互相对的第1主面和第2主面。基板上从第1主面侧形成具有底面状的孔部。靶部由从孔部的底面朝向第1主面侧堆积的金属构成。靶部的外侧面整体与孔部的内侧面紧贴。