公开/公告号CN103488064B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-18
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201210195584.3
发明设计人 张俊;
申请日2012-06-14
分类号G03F9/00(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11278 北京连和连知识产权代理有限公司;
代理人王光辉
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
入库时间 2022-08-23 09:31:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-01
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F9/00 变更前: 变更后: 申请日:20120614
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2015-11-18
授权
授权
2014-02-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F9/00 申请日:20120614
实质审查的生效
2014-01-01
公开
公开
机译: 太阳能提取装置,具有太阳能电池,其太阳能电池的光有效面以相似的方式对准,以及冷却单元,其与电池的背面或模块的背面导热并连接。
机译: 形成对准层图案的方法和一种光学叠片制造方法,其在对准层图案形成过程之后,不会消除对准层图案和基底膜的损害而具有能够消除面膜的能力。
机译: 使用标准的正面对准工具对光处理进行背面对准的方法