一种导电氧化物靶材及导电氧化物薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种新型导电氧化物靶材及导电氧化物薄膜的制备方法，由添加第三种元素在本来的二元氧化物中，以提高电载子移动性来提高透光性及导电性，并首创使用注浆成型加高温烧结的方式来制作相关靶材，提高靶材均匀性及致密度，大幅降低溅镀过程中异常电弧的产生，延长靶材寿命及利用率，提高溅镀薄膜质量及性能，满足了生产的要求。