公开/公告号CN102955368B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-30
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201110241791.3
申请日2011-08-22
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11278 北京连和连知识产权代理有限公司;
代理人王光辉
地址 201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号
入库时间 2022-08-23 09:30:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-01
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F7/20 变更前: 变更后: 申请日:20110822
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2015-09-30
授权
授权
2013-04-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20110822
实质审查的生效
2013-03-06
公开
公开
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