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机译:步进扫描光刻设备中晶片与掩模版台同步控制的新方法
Phase difference; Scanner; Synchronization error; Tracking error;
机译:步进扫描光刻设备中晶片与掩模版台同步控制的新方法
机译:基于迭代学习控制的光罩级和晶圆级同步控制
机译:超越分散的晶圆/标线片载物台控制设计:双重Youla方法可增强同步运动
机译:步进扫描光刻设备中十字线阶段和晶圆阶段同步的迭代学习控制
机译:应用于晶圆扫描仪系统的高精度运动控制的迭代方法。
机译:基于IOT的研究设备共享系统用于远程控制的双光子激光扫描显微镜
机译:晶圆和掩模版阶段同步的迭代学习控制设计
机译:用于显微镜扫描阶段控制的微机软件和接口