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机译:晶圆和掩模版阶段同步的迭代学习控制设计
Sandipan Mishra; William Yeh; Masayoshi Tomizuka;
机译:基于迭代学习控制的光罩级和晶圆级同步控制
机译:超越分散的晶圆/标线片载物台控制设计:双重Youla方法可增强同步运动
机译:应用于晶片扫描仪系统的增强型迭代学习控制。
机译:具有臀部和膝关节辅助的软外骨骼的迭代学习控制
机译:应用于晶圆阶段的稀疏迭代学习控制: 实现绩效,资源效率和任务灵活性
机译:用于控制台架运动中的误差的频率选择迭代学习控制系统和方法
机译:舞台运动误差控制的频率选择迭代学习控制系统及方法
机译:使用最佳迭代学习控制技术控制快速热处理中的晶圆温度均匀性
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