University of California, Berkeley.;
机译:增强Kalman-Filtering迭代学习控制,应用于晶圆扫描仪
机译:应用在晶圆级运动控制中的非规范化共同因子的迭代识别和控制
机译:时变Q滤波器设计用于迭代学习控制,并应用于超精密双级驱动晶片台
机译:多速率迭代学习控制可应用于晶片扫描仪系统,以增强运动性能
机译:应用于晶片扫描仪系统的增强型迭代学习控制。
机译:不同自动曝光控制方法和迭代重建算法不同扫描仪模型中PET-CT中CT协议的优化
机译:应用在晶圆级运动控制中的非规范化共同因子的迭代识别和控制