公开/公告号CN103547654B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-23
原文格式PDF
申请/专利权人 东友精细化工有限公司;
申请/专利号CN201280024311.0
申请日2012-03-09
分类号
代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司;
代理人杨黎峰
地址 韩国全罗北道益山市
入库时间 2022-08-23 09:29:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-23
授权
授权
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C09K13/02 申请日:20120309
实质审查的生效
2014-01-29
公开
公开
机译: 用于晶体硅晶片的纹理蚀刻溶液组合物和纹理蚀刻方法
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