一种基于视觉的全自动晶圆划片机控制系统

摘要

本发明涉及一种基于视觉的全自动晶圆划片机控制系统，其与机床设备、激光器和显微相机配合，硬件包括计算机、运动控制卡和显示器，计算机分别与控制卡、显示器、激光器和显微相机连接，控制卡分别通过各轴运动平台和旋转装置对应的驱动器连接各个电机，XY轴运动平台和直驱电机上分别设有光栅传感器，光栅传感器通过编码器连接至计算机；计算机采用Windows系统基于VC++进行模块化设计，其包括数据处理模块、运动控制模块、控制系统初始化模块、视觉检测定位模块、显示界面模块和激光切割控制模块；采用以上技术方案，实现整个控制系统软硬件配合的稳定运行，与机床设备有机的结合一体，自动化控制程度高，划片效率较以往的划片系统提高了20%左右。