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用于气相沉积系统中基板检测的主动观察端口检测组件

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本发明涉及用于气相沉积系统中基板检测的主动观察端口检测组件，这种用于检测经过真空沉积系统(10)输送的基板(14)的主动观察端口组件(100)包括壳体(102)，壳体(102)被配置成安装到气相沉积模块(16，20，22，28，30)的壁(104，106)上。该壳体还包括封闭腔室(108)、外侧端口(110)和内侧端口(112)。透镜组件(114)安置于所述腔室内且延伸穿过所述内侧端口。加热器元件(116)配置于腔室内的透镜组件上。主动发送器(118)或主动信号接收器(118)之一被配置于所述腔室外部的所述外侧端口，且与所述透镜组件在轴向对准并间隔开。

著录项

公开/公告号CN102154623B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-04-01

原文格式PDF
申请/专利权人初星太阳能公司;
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申请/专利号CN201010604157.7
发明设计人 R·W·布莱克;M·J·帕沃尔;
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申请日2010-12-15
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人陈江雄
地址美国科罗拉多州
入库时间 2022-08-23 09:23:59

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-12-11

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/52 授权公告日:20150401 终止日期:20171215 申请日:20101215

专利权的终止
2015-04-01

授权

授权
2015-04-01

授权

授权
2012-11-28

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/52 申请日:20101215

实质审查的生效
2012-11-28

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/52 申请日:20101215

实质审查的生效
2011-08-17

公开

公开
2011-08-17

公开

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