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康冬妮;
中国电子科技集团公司第二研究所;
膜厚; 折射率; 缺陷; 检测;
机译:脉冲等离子体增强化学气相沉积系统的等离子体和气相表征,该系统设计用于氧化铝薄膜的自限生长
机译:大气压等离子体液体沉积和大气压等离子体增强化学气相沉积沉积的聚乙二醇薄膜:工艺,化学组成分析和生物相容性
机译:SiH_4后和等离子体处理对多孔低介电常数和Cu集成的化学气相沉积TiN阻挡层的化学气相沉积Cu种子的影响
机译:使用CH {Sub} 4 / h {Sub} 2 / NH {Sub} 3气体的微波等离子体辅助化学气相沉积中的微波等离子体辅助化学气相沉积的原位等离子体诊断碳纳米管的生长
机译:晶格匹配的III-V / IV组半导体异质结构:金属有机化学气相沉积和远程等离子体增强化学气相沉积。
机译:用于设计和放大的数学建模大型工业气溶胶辅助化学气相沉积工艺的研究在不确定性下
机译:等离子体辅助化学气相沉积 - 功能涂层的工艺设计
机译:化学气相沉积和等离子体辅助化学气相沉积技术形成的碳 - 碳复合材料氧化保护系统。
机译:热线化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积相结合的混合化学气相沉积工艺
机译:RF等离子体增强化学气相沉积反应器和用于执行等离子体增强化学气相沉积工艺的方法
机译:等离子增强化学气相沉积反应器和等离子增强化学气相沉积工艺
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