极紫外光刻机中匹配多个物镜的照明系统调整与设计方法

摘要

本发明提供一种极紫外光刻机中匹配多个物镜的照明系统调整与设计方法，该方法适用的照明系统包括光源、聚光镜、视场复眼、光阑复眼以及中继镜组；该方法的具体步骤为：在极紫外光刻机更换投影物镜前：利用光线追迹，计算中继镜A的出射光线在子午面和弧矢面上的孔径角；在极紫外光刻机更换投影物镜后：取出瞳面的中心点作为物点进行光线追迹；通过调整中继镜A和B的倾斜角和位置，以及调整光阑复眼和视场复眼上中心复眼元的倾斜角度，直至当前照明系统的像面与投影物镜对应的弧形像面相近为止。基于本发明调整方法对照明系统进行调整，可得到与该投影物镜系统相匹配的照明系统，从而大大降低了投影式光刻机的设计成本。