机译:纳米光刻机在λ= 13.5 nm处的两镜投影物镜
机译:纳米光刻机在λ= 13.5 nm处的两镜投影物镜
机译:设计分辨率为30 nm的投影EUV纳米光刻机-倍增器的支架
机译:用于投射光刻的反射掩模,其波长为13.5 nm
机译:用于纳米螺旋管X射线管波长13.5nm荧光的研究
机译:台式相干衍射显微镜,在29 nm和13.5 nm处产生高次谐波,并具有软X射线照明。
机译:具有大NA目标的光学体积投影用于神经信号的快速高分辨率3D成像
机译:双镜望远镜的高精度自动对准程序