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齐克奇;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033;
投影物镜; 安装方式; 隔振方式; 投影光刻系统;
机译:纳米光刻机在λ= 13.5 nm处的两镜投影物镜
机译:设计分辨率为30 nm的投影EUV纳米光刻机-倍增器的支架
机译:设计11纳米极紫外光刻节点的投影物镜
机译:表面安装式永磁电机的两种磁化方式研究
机译:低有效投影面积的电信塔中的下一代天线安装架设计
机译:小鼠胚胎感觉轴突投影的整个安装成像。
机译:用于具有大检测物镜的倒光纸显微镜的开放式硬件样品安装解决方案
机译:用含有氢氟酸的蚀刻剂消除金相物镜物镜的损坏
机译:光刻机投影物镜的温度平衡装置及其方法
机译:用于检测光刻机中的投影物镜系统的波前像差的装置和方法
机译:通过使用安装在标线支架中的光学检查单元,对微光刻投影照明系统的投影物镜的近场透镜的物镜表面进行散射光检查
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