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基于p-型ZnSe纳米线/n-型Si异质结的光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于p-型ZnSe纳米线/n-型Si异质结的光电探测器,其特征是光电探测器的结构层自下而上依次为:n-型掺杂Si片、感光层和石墨烯电极,感光层为p-型ZnSe纳米线,感光层与石墨烯电极之间为欧姆接触,在感光层的外围、位于n-型掺杂Si片与石墨烯电极之间设置有绝缘层,以绝缘层在n-型掺杂Si片与石墨烯电极之间进行绝缘。本发明能有效增强纳米光电探测器的电信号,提高其开关比,增大光电探测器感光层面积。

著录项

  • 公开/公告号CN102751374B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-10-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 合肥工业大学;

    申请/专利号CN201210243428.X

  • 申请日2012-07-13

  • 分类号

  • 代理机构安徽省合肥新安专利代理有限责任公司;

  • 代理人何梅生

  • 地址 230009 安徽省合肥市屯溪路193号

  • 入库时间 2022-08-23 09:21:24

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-27

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/109 授权公告日:20141008 终止日期:20170713 申请日:20120713

    专利权的终止

  • 2014-10-08

    授权

    授权

  • 2014-10-08

    授权

    授权

  • 2012-12-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/109 申请日:20120713

    实质审查的生效

  • 2012-12-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/109 申请日:20120713

    实质审查的生效

  • 2012-10-24

    公开

    公开

  • 2012-10-24

    公开

    公开

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