使用具有分等级的光学性质的底部抗反射涂层来执行光刻的方法

摘要

本发明提供的是使用具有分等级的光学性质的BARC的光刻方法。在示例性的实施方式中，光刻方法包含如下步骤，即，使上覆于待图案化的材料的BARC沉积，该BARC具有折射率和吸光度。修改该BARC，以便在该修改步骤之后，该折射率和该吸光度的值从在该BARC的第一表面处的第一值到在该BARC的第二表面处的第二值分等级。该修改步骤在该沉积步骤之后执行。