首页> 中国专利> 用于集成电路的电阻调谐的由电磁辐射引起的硅中的同素异形或形态改变

用于集成电路的电阻调谐的由电磁辐射引起的硅中的同素异形或形态改变

摘要

一种电子器件,包含半导体基板和基板上的电介质层。位于基板上的电阻链接包含第一电阻区域和第二电阻区域。第一电阻区域具有第一电阻率和第一形态。第二电阻区域具有第二电阻率和不同的第二形态。

著录项

  • 公开/公告号CN102203903B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-06-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 艾格瑞系统有限公司;

    申请/专利号CN200880131681.8

  • 申请日2008-09-19

  • 分类号H01L21/02(20060101);H01C17/26(20060101);

  • 代理机构11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人党建华

  • 地址 美国宾夕法尼亚

  • 入库时间 2022-08-23 09:14:54

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-09-10

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/02 授权公告日:20130619 终止日期:20180919 申请日:20080919

    专利权的终止

  • 2016-10-12

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/02 登记生效日:20160918 变更前: 变更后: 申请日:20080919

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-10-12

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/02 变更前: 变更后: 申请日:20080919

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2016-10-12

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/02 变更前: 变更后: 申请日:20080919

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2016-10-12

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/02 登记生效日:20160918 变更前: 变更后: 申请日:20080919

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-07-01

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/02 变更前: 变更后: 申请日:20080919

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2015-07-01

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/02 变更前: 变更后: 申请日:20080919

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2013-06-19

    授权

    授权

  • 2013-06-19

    授权

    授权

  • 2011-11-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20080919

    实质审查的生效

  • 2011-11-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20080919

    实质审查的生效

  • 2011-09-28

    公开

    公开

  • 2011-09-28

    公开

    公开

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