一种力电性能好的铁电自由基薄膜及其制备方法与应用

摘要

本发明公开了一种力电性能好的铁电自由基薄膜，包括如下步骤：依次在衬底上生长缓冲层、底电极层和铁电功能层，退火后，将所述衬底剥离后即得铁电自由基薄膜；其中，所述生长均采用脉冲激光沉积技术；所述衬底和所述缓冲层生长之前采用腔内气氛环境等离子体表面清洗技术进行清洗。本发明基于衬底和缓冲层表面状态以及范德华瓦尔斯力共调控的思路，通过采用具有较高柔韧性和化学稳定性、且经过了特殊预处理的云母衬底，结合优化的腔内等离子体处理技术和脉冲激光沉积技术工艺，制备出的锆钛酸铅自由基薄膜具有优异柔韧性和铁电性能。