首页> 中国专利> 一种超薄层状有机分子铁电薄膜的制备方法以及该铁电薄膜的应用

一种超薄层状有机分子铁电薄膜的制备方法以及该铁电薄膜的应用

摘要

本发明公开一种超薄层状有机分子铁电薄膜的制备方法以及该铁电薄膜的应用,该铁电薄膜的制备方法为:将石墨烯或氮化硼的二维层状材料转移到硅片表面、作为衬底,并以高氯酸咪唑粉末作为生长源;将生长源和衬底置于管式炉的石英管中,两者间隔距离放置,对石英管抽真空;启动管式炉,加热炉体至生长源位置处温度为100~110℃、保温1~2h,生长源通过气相挥发,在石墨烯或氮化硼上沉积形成高氯酸咪唑铁电薄膜。通过有机分子薄膜之间以及有机分子与衬底之间微弱的范德瓦尔斯力作用,采用气相沉积,可得到分子级厚度的超薄层铁电薄膜,并在超薄层薄膜中发现优良的铁电性,其厚度最小可为单分子层(1.2nm),可应用于铁电场效应晶体管、铁电存储器等电子元器件。

著录项

  • 公开/公告号CN109234680B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-10-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南京大学;

    申请/专利号CN201811310771.5

  • 发明设计人 王欣然;吕未;吴冰;游雨蒙;

    申请日2018-11-06

  • 分类号

  • 代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人吴飞

  • 地址 210008 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号

  • 入库时间 2022-08-23 10:42:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-15

    授权

    授权

  • 2019-02-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/12 申请日:20181106

    实质审查的生效

  • 2019-02-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/12 申请日:20181106

    实质审查的生效

  • 2019-01-18

    公开

    公开

  • 2019-01-18

    公开

    公开

  • 2019-01-18

    公开

    公开

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