光学邻近效应校正的方法

摘要

本发明提供一种光学邻近效应校正的方法，获取需光学邻近效应校正的目标图形和第一菜单参数，第一菜单参数用于控制目标图形校正后的模拟轮廓，模拟轮廓位于目标图形外的面积差定义为代价函数；形成与目标图形的轮廓边缘相贴合且连续的线段，设置标记点于线段上，之后利用算法生成多组不同位置的标记点，得到每组标记点对应的代价函数；选择多组代价函数中数值最小的标记点和线段的参数，并根据其得到第二菜单参数；根据第二菜单参数对目标图形进行光学邻近效应校正。本发明应用“基因算法”优化光学临近效应的菜单参数，使校正后的图形轮廓更平滑，更符合目标图形。