公开/公告号CN110221513B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-13
原文格式PDF
申请/专利号CN201810175079.X
申请日2018-03-02
分类号G03F1/36;
代理机构
代理人
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 13:38:55
机译: 光学元件及其制造方法以及光学元件的驱动方法
机译: 光学元件,光学系统,图像拾取装置以及光学元件的制造方法
机译: 光学元件,光学系统,图像拾取装置以及光学元件的制造方法