公开/公告号CN114121690A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 上海昀通电子科技有限公司;
申请/专利号CN202111406878.1
申请日2021-11-24
分类号H01L21/56(20060101);H01L23/552(20060101);C09J4/06(20060101);C09J4/02(20060101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人赵颖
地址 200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区老芦公路536号
入库时间 2023-06-19 14:19:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-01
公开
发明专利申请公布
机译: 溅镀系统及溅镀方法
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