公开/公告号CN113878452A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 哈尔滨工业大学;
申请/专利号CN202010658785.7
申请日2020-07-09
分类号B24B21/12(20060101);B24B21/00(20060101);B24B21/18(20060101);B24B21/20(20060101);B24B47/12(20060101);B24B41/00(20060101);
代理机构23211 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司;
代理人王海婷
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
入库时间 2023-06-19 13:33:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-05
授权
发明专利权授予
机译: 末端执行器和制造带有接触元件的末端执行器的方法,以调节用于抛光微型设备工件的抛光垫
机译: 末端执行器和制造带有接触元件的末端执行器的方法,以调节用于抛光微型设备工件的抛光垫
机译: 末端执行器和制造带有接触元件的末端执行器的方法,以调节用于抛光微型设备工件的抛光垫