一种用于晶圆的寻位装置、寻位方法及晶圆计速方法

摘要

本发明公开了一种用于晶圆的寻位装置，晶圆处于转动状态，其外边缘带有缺口部；寻位装置至少包括，信号发送机构，用于向晶圆所在方向发送信号，该信号可从缺口部通过，信号经过晶圆时被其阻挡；信号接收机构，用于接收信号发送机构发送的信号，以判断缺口部是否经过信号发送的路径，或者，判断缺口部经过信号发送路径的次数。本发明又公开了一种晶圆寻位方法。本发明还公开了一种旋转晶圆计速方法。本发明实现晶圆定位，可确定晶圆缺口部位置，提高了工艺过程晶圆取放可靠性，节省了设备的空间；提高了晶圆转速检测可靠性。