摘要：氢化纳米硅薄膜是一种具有显著压阻效应的新型半导体薄膜材料。本文应用四点弯曲法并基于虚拟仪器技术设计了氢化纳米硅薄膜应变系数测量平台，该平台利用虚拟仪器技术将测最硬件Agilent 34410A和NI 9237与计算机结合，并通过编程实现纳米硅薄膜在应力作用下的相应电阻变化和应变的测量和数据处理，从而实现纳米硅薄膜应变系数的自动测量。实验结果表明，基于虚拟仪器的纳米硅薄膜应变系数测量系统解决了采用传统的方法无法进行薄膜材料应变系数测量的问题，缩短了薄膜应变系数测量系统的开发时间，提高了测试的自动化程度、测试精度和效率，更重要的是该测量系统的测量结果为纳米硅薄膜在力敏传感器中的应用提供了理论依据。
