水平湿制程治具

摘要

本发明提供一种水平湿制程治具，其包括弧面形成本体以及连接于弧面形成本体的定位件，弧面形成本体具有弧面基准部。弧面基准部的侧面呈弧形状。可挠性平面基板贴服于弧面基准部的上方表面，形成弧状可挠性基板。定位件供弧状可挠性基板定位于弧面基准部，使弧状可挠性基板形成所设定的弧面，可降低因药液滞留而产生的水坑效应。