用于将块从供体衬底转移到受体衬底的方法

摘要

本发明涉及将块(9)从供体衬底(1)转移到受体衬底(20)的方法，该方法包括以下步骤：‑布置面向供体衬底的自由表面(3)的掩模(2)，掩模(2)具有使供体衬底的自由表面(3)暴露的一个或更多个开口(4)，这些开口根据确定的图案(10)分布，以便形成供体衬底的自由表面的至少一个暴露区域以及由掩模覆盖的至少一个区域(5)，‑通过穿过掩模(2)的离子植入形成弱化面(7)，该弱化面在供体衬底(1)中与至少一个暴露区域竖向对齐地定位，该弱化面(7)在供体衬底的厚度中界定相应表面区域(8)，‑形成块(9)，块相对于供体衬底的与各个相应弱化面(7)竖向对齐地定位的自由表面(3)凸起，块包括相应表面区域(8)，‑在已去除掩模(2)后，借助位于结合界面处的各个块(9)将供体衬底(1)结合到受体衬底(20)，‑沿着定位的各个弱化面(7)分离供体衬底(1)，以便将各个相应块(9)转移到受体衬底(20)。