一种面向MEMS气体传感器的Au修饰ZnO甲烷敏感材料及其制备方法

摘要

本发明涉及一种面向MEMS气体传感器的Au修饰ZnO甲烷敏感材料及其制备方法，属于MEMS气体传感器技术领域，用以解决现有ZnO基气敏材料稳定性差的问题。本发明的面向MEMS气体传感器的Au修饰ZnO甲烷敏感材料，包括由上至下设置的Au修饰层、ZnO薄膜层、微加热板层和基底，其中，ZnO薄膜层的厚度为50～150nm，Au与ZnO的摩尔比值为0.005～0.02。本发明以ZnO为基础材料，用Au元素修饰后，一方面，镀金在氧化锌表面形成钝化保护层，避免氧化锌被酸性气体腐蚀，使材料的稳定性显著改善；另一方面，金修饰可以增大氧化锌的表面电子耗尽层宽度，使得气体响应后电阻变化值增大，使得材料具有较高的灵敏度。