蒸镀掩模缺陷原因确定系统、蒸镀掩模缺陷原因确定方法及程序

摘要

一种蒸镀掩模缺陷原因确定系统，对具有形成有多个孔的基材的蒸镀掩模的缺陷原因进行确定，具备：图像取得部，取得上述蒸镀掩模的摄像图像，该摄像图像包括对包含正常孔部分和不良孔部分的上述多个孔进行摄像而得的多个孔部分以及对多个孔周围的上述基材进行摄像而得的基材部分；第1面积计算部，计算由图像取得部取得的摄像图像中包含的正常孔部分的面积；第2面积计算部，计算由图像取得部取得的摄像图像中包含的不良孔部分的面积；面积比率计算部，计算不良孔部分的面积相对于正常孔部分的面积的比例即面积比率；及缺陷原因确定部，确定不良孔部分的原因，缺陷原因确定部在面积比率为1以上的情况下确定不良孔部分的原因为第1原因或第2原因，在面积比率低于1的情况下确定不良孔部分的原因为并非第1原因及第2原因中的任一方的原因。