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等离子显示器(PLASMA DISPLAY PANEL)中MgO(氧化镁)蒸镀工艺的进展——真空电子束蒸镀与MgO(氧化镁)材料

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本文评述了近年来PDP工艺中的MgO(氧化镁)保护膜制作的技术进展,重点讲座了电子束蒸镀法与其它保护膜制作工艺的区别以及影响电子束蒸镀的各种因素及真空技术的应用.另外,也讨论了电子束蒸镀法使用靶材——MgO(氧化镁)的各种物理特性等.

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来源
《2004中国平板显示学术会议》|2004年|137-140|共4页
会议地点上海
作者
盛庭;
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作者单位

中国电子学会;

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类等离子体显示器件;
关键词
PDP; 等离子显示器; 电子束; 蒸镀工艺;
入库时间 2022-08-17 11:03:44

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