首页> 中国专利> 一种对碲镉汞芯片钝化前的表面清洗方法

一种对碲镉汞芯片钝化前的表面清洗方法

摘要

本发明公开了一种对碲镉汞芯片钝化前的表面清洗方法,本发明是用毛刷刷洗能洗掉碲镉汞芯片表面及边缘脏渣等污染物,并通过冲洗能将刷洗的残留再一次清洗,使得清洗每片碲镉汞芯片的时间由120~150S变为60~95S。清洗每片碲镉汞芯片的丙酮试剂量由(0.42~0.45L)变为(0.34~0.36L),节约时间与试剂用量,工艺效率大大提高,有利于降低成本。

著录项

  • 公开/公告号CN113113285A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202110254064.4

  • 发明设计人 戴永喜;宁提;谭振;孙浩;

    申请日2021-03-09

  • 分类号H01L21/02(20060101);H01L31/09(20060101);H01L31/18(20060101);

  • 代理机构11010 工业和信息化部电子专利中心;

  • 代理人于金平

  • 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号

  • 入库时间 2023-06-19 11:49:09

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-04-28

    授权

    发明专利权授予

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号