公开/公告号CN113113285A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第十一研究所;
申请/专利号CN202110254064.4
申请日2021-03-09
分类号H01L21/02(20060101);H01L31/09(20060101);H01L31/18(20060101);
代理机构11010 工业和信息化部电子专利中心;
代理人于金平
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号
入库时间 2023-06-19 11:49:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-28
授权
发明专利权授予
机译: 碲化汞镉光电器件中的缺陷钝化的方法和系统
机译: 调制直流阳极氧化钝化碲化汞镉的方法
机译: 汞-镉-碲基质的蚀刻方法