碲镉汞表面钝化研究进展

摘要

碲镉汞(MCT)红外探测器近些年的发展非常迅速.随着相关技术的不断进步,对探测器的要求也越来越高.MCT探测器的表面对杂质、缺陷、损伤、温度等因素非常敏感,而器件的很多性能直接由其表面的性质决定,因此MCT材料表面的钝化被看成是红外探测器制备的关键工艺之一.为了提高器件表面的稳定性,最常用的方法就是对MCT材料表面进行钝化处理.主要介绍了几种常见的MCT材料表面钝化方法,然后结合国内外文献重点介绍了常见的介质膜钝化方法,并对以后的工作进行了展望.