碲镉汞材料表面钝化研究的发展(下)

王忆锋; 刘黎明; 孙祥乐; 陈燕

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碲镉汞材料表面钝化研究的发展(下)

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碲镉汞(Hg1-xCdxTe,MCT)材料的表面钝化被认为是光导和光伏探测器制备中的关键步骤之一.实用的MCT器件需要稳定且可重复生产的钝化表面和符合器件性能要求的界面及表面势.通过对近年来的部分英语文献进行归纳分析,介绍了MCT表面钝化研究的进展.描述了MCT钝化的基本概念.讨论了部分MCT钝化膜的生长方法、界面性质和参数.

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来源
《红外》 |2012年第4期|7-13|共7页
作者
王忆锋; 刘黎明; 孙祥乐; 陈燕;
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作者单位

昆明物理研究所,云南昆明650223;

昆明物理研究所,云南昆明650223;

昆明物理研究所,云南昆明650223;

昆明物理研究所,云南昆明650223;

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正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
碲镉汞; 红外探测器; 表面钝化; 表面处理;

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