一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置

摘要

本发明实施例提供了一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置，晶圆良率问题数据库为预先建立的，其中包括多个失效类别及其相关的失效特征和对应的指证性数据，该方法包括：在多个第一晶圆图中确定存在预定的失效模式的若干第二晶圆图；提取第二晶圆图的第一失效特征，据以确定第二晶圆图的第一失效类别；根据第一失效类别和多个失效类别的失效特征的相似度，确定多个失效类别中的若干第二失效类别、以及第一失效类别与第二失效类别的失效特征匹配数量；根据第一失效类别和第二失效类别的指证性数据的相似度，确定第一失效类别与各第二失效类别的指证性数据匹配数量；根据失效特征和指证性数据匹配数量，对若干第二失效类别进行第一排序并展示。