公开/公告号CN112854332A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-28
原文格式PDF
申请/专利权人 中交(天津)疏浚工程有限公司;
申请/专利号CN202110046574.2
申请日2021-01-14
分类号E02F3/88(20060101);E02F3/92(20060101);E02F5/28(20060101);
代理机构
代理人
地址 300000 天津市河西区郁江道17号陈塘科技孵化器346室
入库时间 2023-06-19 11:08:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-02-14
实质审查的生效 IPC(主分类):E02F 3/88 专利申请号:2021100465742 申请日:20210114
实质审查的生效
机译: 超窄沟槽图案化使用等离子蚀刻
机译: 使用等离子刻蚀进行超窄沟槽刻画
机译: 使用等离子刻蚀的超窄沟槽图案