注释表
第一章 绪论
1.1窄沟槽加工技术的研究现状
1.1.1窄沟槽的铣削加工
1.1.2成形加工
1.1.3电火花加工
1.1.4电解线切割加工
1.1.5电解铣削加工
1.2微细电化学的研究现状
1.2.1微细电铸技术
1.2.2电液流电解加工技术
1.2.3掩模微细电解加工技术
1.2.4超短脉冲微细电解加工技术
1.2.5 约束刻蚀剂层技术
1.3课题的研究意义及内容
1.3.1研究意义
1.3.2研究内容
1.4本章小结
第二章 电解铣削窄沟槽加工基本模型
2.1电解加工基本原理与特点
2.2管电极电解铣削加工的特点
2.2管电极电解铣削加工的分步控制模型
2.2.1竖直打孔加工阶段
2.2.2横向铣削加工阶段
2.3电解铣削加工窄沟槽影响因素分析
2.3.1 加工稳定性影响因素分析
2.3.2加工精度的影响因素分析
2.4 本章小结
第三章 管电极电解铣削的电场和间隙流场分析
3.1 大深宽比封闭窄沟槽电解铣削加工工艺分析
3.2 管电极结构分析
3.2.1 管径对加工状态的影响
3.2.2 管电极壁厚对加工状态的影响
3.3加工间隙流场的仿真结果与分析
3.3.1管电极的管径对间隙流场的影响
3.3.2管电极的壁厚对间隙流场的影响
3.3.3电解液压强对间隙流场的影响
3.4 管电极电解加工的电场仿真结果分析
3.5本章小结
第四章 管电极电解铣削加工窄沟槽试验
4.1管电极电解铣削加工试验条件
4.1.1电解机床运动平台
4.1.2脉冲电源
4.1.3电解液循环过滤系统
4.1.4 电流采集装置
4.1.5 加工对刀方法
4.2 管电极电解铣削加工直线窄沟槽试验
4.2.1工艺试验参数安排
4.2.2封闭窄沟槽槽宽检测方法
4.2.3电解液压强对加工结果的影响
4.2.4电参数对加工结果的影响
4.2.5进给速度对加工结果的影响
4.2.6管电极直径对加工结果的影响
4.2.7铣削深度对加工结果的影响
4.3 优化参数下大深宽比封闭窄沟槽电解铣削加工
4.4 本章小结
第五章 旋转管电极电解铣削加工试验
5.1 旋转管电极电解铣削工窄沟槽试验分析
5.2 工艺参数对加工结果的影响
5.2.1管电极转速对加工结果的影响
5.3旋转管电极在优化参数下加工典型图案的窄沟槽结构
5.4本章小结
总结与展望
论文研究总结
未来工作展望
参考文献
声明
成果
致谢
