光刻机硅片台移动装置

摘要

本发明公开了光刻机硅片台移动装置，包括支撑平台，所述支撑平台的下表面固定安装有辅助支撑腿，所述支撑平台的上表面固定安装有第一支撑板，所述第一支撑板的上表面开设有第一条形槽，所述第一条形槽的内壁转动连接有第一滚轴，所述第一滚轴的表面搭接有硅片台，所述硅片台的上表面开设有放置槽。该光刻机硅片台移动装置，通过设置第一支撑板、压板、第一滚轴和第二滚轴，利用第一支撑板上的第一滚轴和压板上的第二滚轴夹紧硅片台，当硅片台在丝杠的带动下移动时，由于硅片台的上下两表面分别与第一滚轴和第二滚轴滚动连接，与滑动连接相比较，减少了第一滚轴、第二滚轴和硅片台之间的磨损，提高了硅片的加工精度。

说明书

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体为光刻机硅片台移动装置。

背景技术

光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序，它是将一系列掩模版上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的工艺过程，被认为是大规模集成电路制造中的核心步骤，半导体制造中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成，而光刻技术的发展或者说光刻机的技术进步则主要围绕着线宽、套刻精度和生产率这三大指标展开。

在光刻机工作过程中，硅片台的主要用途在于承载硅片和带动硅片进行短距离的移动，传统的硅片台移动，是靠电机带动丝杠转动，利用丝杠和导向杆带动硅片台移动，导向杆和硅片台之间滑动连接，在长时间的摩擦后，导向杆和硅片台上的限位孔均有不同程度的磨损，当丝杠转动时，硅片台会产生一定的倾斜，影响硅片的加工精度。

因此，本发明提出光刻机硅片台移动装置。

发明内容

本发明的目的在于提供光刻机硅片台移动装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：光刻机硅片台移动装置，包括支撑平台，所述支撑平台的下表面固定安装有辅助支撑腿，所述支撑平台的上表面固定安装有第一支撑板，所述第一支撑板的上表面开设有第一条形槽，所述第一条形槽的内壁转动连接有第一滚轴，所述第一滚轴的表面搭接有硅片台，所述硅片台的上表面开设有放置槽，所述放置槽的内底壁开设有沉孔，所述沉孔的内壁固定安装有吸管，所述第一支撑板的上表面通过螺栓固定安装有第二支撑板，所述第二支撑板的截面为L型结构，所述第二支撑板的上表面分别开设有螺纹孔和通孔，所述螺纹孔的内壁螺纹连接有调节螺纹杆，所述通孔的内壁滑动连接有限位杆，所述调节螺纹杆的下端转动连接有压板，所述压板的下表面开设有第二条形槽，所述第二条形槽的内壁转动连接有第二滚轴，所述支撑平台的左右两侧面均固定安装有挡板，两个所述挡板的相对面均固定安装有滚珠轴承，两个所述滚珠轴承的内环面固定连接有丝杠，左侧所述挡板的左侧固定安装有电机安装座，所述电机安装座的上表面通过螺栓固定安装有伺服电机。

优选的，所述放置槽的内底壁开设有吸附槽，所述吸附槽的数量为若干个，若干个所述吸附槽呈放射状设置在放置槽的内底壁，所述吸管的表面固定安装有电磁阀，所述吸管的下端与外部光刻机的气泵相连接。

优选的，所述辅助支撑腿的数量为四个，四个所述辅助支撑腿呈矩形阵列设置在支撑平台下表面的四角，四个所述辅助支撑腿的下端均螺纹连接有螺纹柱，四个所述螺纹柱的下端均转动连接有缓冲支撑垫，四个所述螺纹柱的表面均固定连接有调节六角块。

优选的，所述第一支撑板的数量为两个，两个所述第一支撑板对称设置在支撑平台的上表面，所述第一滚轴的数量为若干个，若干个所述第一滚轴分为两组，两组所述第一滚轴分别呈线性阵列设置在两个第一支撑板的上表面。

优选的，所述第二支撑板和压板的数量均为两个，两个所述第二支撑板分别设置在两个第一支撑板的上表面，两个所述第二支撑板的相对面均开设有梯形槽，两个所述压板的相向面均固定连接有与梯形槽相适配的滑块。

优选的，所述限位杆的数量为四个，每两个限位杆为一组，两组所述限位杆分别设置在两个第二支撑板的上表面，同组两个所述限位杆对称设置在调节螺纹杆的两侧，两组所述限位杆的下端分别与两个压板的上表面固定连接。

优选的，所述硅片台的侧面开设有内螺纹孔，所述丝杠的表面与内螺纹孔的内壁螺纹连接，所述丝杠的左端与伺服电机的输出端固定连接，所述伺服电机与外部光刻机的控制系统电性连接。

优选的，所述调节螺纹杆的数量为两个，两个所述调节螺纹杆分别与两个压板的上表面转动连接，两个所述调节螺纹杆的上端均固定安装有把手，两个所述把手的表面均固定连接有防滑橡胶套。

优选的，所述第二滚轴的数量为若干个，若干所述第二滚轴分为两组，两组所述第二滚轴分别呈线性阵列设置在两个压板的下表面，所述硅片台的上表面与第二滚轴的表面搭接。

有益效果

本发明提供了光刻机硅片台移动装置，具备以下有益效果：

1.该光刻机硅片台移动装置，通过设置第一支撑板、压板、第一滚轴和第二滚轴，利用第一支撑板上的第一滚轴和压板上的第二滚轴夹紧硅片台，当硅片台在丝杠的带动下移动时，由于硅片台的上下两表面分别与第一滚轴和第二滚轴滚动连接，与滑动连接相比较，减少了第一滚轴、第二滚轴和硅片台之间的磨损，提高了硅片的加工精度。

2.该光刻机硅片台移动装置，通过设置调节螺纹杆和限位杆，能够调节压板与第一支撑板之间的距离，进而将硅片台紧紧的夹在第一支撑板和压板之间，避免硅片台在移动时发生倾斜，通过设置放置槽和吸管，能够将硅片吸附在硅片台上，避免在硅片台移动的过程中，硅片从硅片台上滑落。

附图说明

图1为本发明正剖结构示意图；

图2为本发明俯视结构示意图；

图3为本发明侧剖结构示意图；

图4为图3中A处当大结构示意图；

图5为辅助支撑腿正剖结构示意图。

图中：1支撑平台、2辅助支撑腿、3第一支撑板、4第一滚轴、5硅片台、6放置槽、7吸管、8第二支撑板、9调节螺纹杆、10限位杆、11压板、12第二滚轴、13挡板、14滚珠轴承、15丝杠、16伺服电机、17螺纹柱、18缓冲支撑垫。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：光刻机硅片台移动装置，包括支撑平台1，支撑平台1的下表面固定安装有辅助支撑腿2，辅助支撑腿2的数量为四个，四个辅助支撑腿2呈矩形阵列设置在支撑平台1下表面的四角，四个辅助支撑腿2的下端均螺纹连接有螺纹柱17，四个螺纹柱17的下端均转动连接有缓冲支撑垫18，四个螺纹柱17的表面均固定连接有调节六角块。

支撑平台1的上表面固定安装有第一支撑板3，第一支撑板3的上表面开设有第一条形槽，第一条形槽的内壁转动连接有第一滚轴4，第一支撑板3的数量为两个，两个第一支撑板3对称设置在支撑平台1的上表面，第一滚轴4的数量为若干个，若干个第一滚轴4分为两组，两组第一滚轴4分别呈线性阵列设置在两个第一支撑板3的上表面，第一滚轴4的表面搭接有硅片台5，硅片台5的上表面开设有放置槽6，放置槽6的内底壁开设有沉孔，沉孔的内壁固定安装有吸管7，放置槽6的内底壁开设有吸附槽，吸附槽的数量为若干个，若干个吸附槽呈放射状设置在放置槽6的内底壁，吸管7的表面固定安装有电磁阀，吸管7的下端与外部光刻机的气泵相连接，通过设置放置槽6和吸管7，能够将硅片吸附在硅片台5上，避免在硅片台5移动的过程中，硅片从硅片台5上滑落。

第一支撑板3的上表面通过螺栓固定安装有第二支撑板8，第二支撑板8的截面为L型结构，第二支撑板8的上表面分别开设有螺纹孔和通孔，螺纹孔的内壁螺纹连接有调节螺纹杆9，通孔的内壁滑动连接有限位杆10，调节螺纹杆9的下端转动连接有压板11，第二支撑板8和压板11的数量均为两个，两个第二支撑板8分别设置在两个第一支撑板3的上表面，两个第二支撑板8的相对面均开设有梯形槽，两个压板11的相向面均固定连接有与梯形槽相适配的滑块，限位杆10的数量为四个，每两个限位杆10为一组，两组限位杆10分别设置在两个第二支撑板8的上表面，且同组两个限位杆10对称设置在调节螺纹杆9的两侧，两组限位杆10的下端分别与两个压板11的上表面固定连接，调节螺纹杆9的数量为两个，两个调节螺纹杆9分别与两个压板11的上表面转动连接，两个调节螺纹杆9的上端均固定安装有把手，两个把手的表面均固定连接有防滑橡胶套，通过设置调节螺纹杆9和限位杆10，能够调节压板11与第一支撑板3之间的距离，进而将硅片台5紧紧的夹在第一支撑板3和压板11之间，避免硅片台5在移动时发生倾斜。

压板11的下表面开设有第二条形槽，第二条形槽的内壁转动连接有第二滚轴12，第二滚轴12的数量为若干个，若干第二滚轴12分为两组，两组第二滚轴12分别呈线性阵列设置在两个压板11的下表面，硅片台5的上表面与第二滚轴12的表面搭接，支撑平台1的左右两侧面均固定安装有挡板13，两个挡板13的相对面均固定安装有滚珠轴承14，两个滚珠轴承14的内环面固定连接有丝杠15，左侧挡板13的左侧固定安装有电机安装座，电机安装座的上表面通过螺栓固定安装有伺服电机16，硅片台5的侧面开设有内螺纹孔，丝杠15的表面与内螺纹孔的内壁螺纹连接，丝杠15的左端与伺服电机16的输出端固定连接，伺服电机16与外部光刻机的控制系统电性连接。

通过设置第一支撑板3、压板11、第一滚轴4和第二滚轴12，利用第一支撑板3上的第一滚轴4和压板11上的第二滚轴12夹紧硅片台5，当硅片台5在丝杠15的带动下移动时，由于硅片台5的上下两表面分别与第一滚轴4和第二滚轴12滚动连接，与滑动连接相比较，减少了第一滚轴4、第二滚轴12和硅片台5之间的磨损，提高了硅片的加工精度。

工作原理：当使用该光刻机硅片台移动装置时，利用调节螺纹杆9带动压板11向下夹紧硅片台5，外部机械手通过吸盘将硅片放置在硅片台5上的放置槽6内，利用吸管7将硅片吸附在放置槽6内，通过伺服电机16带动丝杠15转动，使硅片台5沿丝杠15移动，硅片台5通过第一滚轴4和第二滚轴12分别与第一支撑板3和压板11之间滚动连接，减少了磨损，提高了硅片的加工精度。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。