用于内衬钴的特征的铜电沉积序列

摘要

在一示例中，电镀系统包括第一浴槽、第二浴槽、夹具、第一浴槽中的第一阳极、第二浴槽中的第二阳极和直流电源。第一浴槽容纳第一电解质溶液，该第一电解质溶液包括碱性铜复合溶液。第二浴槽容纳第二电解质溶液，该第二电解质溶液包括酸性镀铜溶液。直流电源在夹具和第一阳极之间产生第一直流电流，以在浸入第一电解质溶液中的晶片的钴层上电镀第一铜层。然后，直流电源在夹具和第二阳极之间产生第二直流电，以在浸入第二电解质溶液中的晶片的第一铜层上电镀第二铜层。