公开/公告号US2019304789A1
专利类型
公开/公告日2019-10-03
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201815941267
申请日2018-03-30
分类号H01L21/288;C25D3/38;C25D17;C25D17/06;C25D5/10;C25D5/34;H01L23/532;H01L21/285;H01L21/768;H01L21/321;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:08:16