公开/公告号US2021151322A1
专利类型
公开/公告日2021-05-20
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US202117158963
申请日2021-01-26
分类号H01L21/288;C25D3/38;C25D17;C25D17/06;C25D5/10;C25D5/34;H01L21/321;H01L23/532;H01L21/285;H01L21/768;
国家 US
入库时间 2024-06-14 21:33:39