公开/公告号CN111885755A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-03
原文格式PDF
申请/专利权人 常州铭赛机器人科技股份有限公司;
申请/专利号CN202010694765.5
申请日2020-07-17
分类号H05B3/26(20060101);H01L21/67(20060101);B05C5/02(20060101);B05C13/00(20060101);
代理机构32409 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙);
代理人赵旭
地址 213100 江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城哈工大铭赛科技大厦
入库时间 2023-06-19 08:47:24
机译: 晶圆加热装置,静电卡盘以及晶圆加热装置的制造方法
机译: 晶圆加热设备的晶圆加热设备,用于在晶圆的上表面直接喷射冷却气体和加热气体
机译: 晶圆支架及其配备的加热装置,晶圆探测器