在双极静电卡盘的部分上具有电极的双极静电卡盘

摘要

公开一种双极静电卡盘。双极静电卡盘包括：底座；下部介电层，形成于底座的整个上部表面上；边缘电极部分，沿着边沿形成在下部介电层的上部侧上，边缘电极部分包括第一电极和第二电极，第二电极与第一电极分隔开且具有与第一电极的极性不同的极性；和上部介电层，形成于下部介电层和边缘电极部分的上部侧上，其中，在平面图中，双极静电卡盘划分成边缘电极形成区域和中心区域，边缘电极形成区域对应至从边缘至边缘电极部分的区域，且中心区域对应至除了边缘电极形成区域之外的区域。