制备共面型铟镓锌氧薄膜晶体管的方法及薄膜晶体管

摘要

本发明涉及薄膜晶体管技术领域，尤其涉及制备共面型铟镓锌氧薄膜晶体管的方法及薄膜晶体管。所述方法包括：在绝缘层衬底上形成铟镓锌氧薄膜作为有源层；在有源层上形成栅介质层；在栅介质层上形成栅电极；根据栅电极的图形，对栅介质层进行图形化；对有源层进行图形化；在绝缘层衬底和有源层上形成源漏电极；在绝缘层衬底、有源层、栅介质层、栅电极和源漏电极上形成钝化层；对源漏电极和栅电极上方的钝化层进行图形化，形成通孔，以露出源漏电极和栅电极的部分区域，形成共面型铟镓锌氧薄膜晶体管。本发明能够提高源漏区域与金属电极之间的接触面积，从而降低了器件源漏区域的电阻。