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溶液法制备铟镓锌氧薄膜晶体管及其性能研究

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摘要

本文介绍了薄膜晶体管的结构及工作原理,并概述了几种常见的制备氧化物材料工艺方法,其中对溶液方法制备铟镓锌氧有源层进行了详细阐述.溶液法制备更有利于元素配比的调控,制备方法更灵活,可适用于大面积的生产.本文利用旋涂法和喷墨打印法制备了铟镓锌氧化物薄膜晶体管,并进行了电学性能测试与分析.

著录项

来源
《吉林建筑工程学院学报》 |2019年第4期|78-82|共5页
作者
史恺; 杨小天;
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作者单位

吉林建筑大学电气与计算机学院长春 130118;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
薄膜晶体管(TFT); 铟镓锌氧(IGZO); 溶液法制备; 电学性能;

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