一种旋转式双温区PVT法高质量单晶制备装置及方法

摘要

一种旋转式双温区PVT法高质量单晶制备装置及方法，属于半导体制造装置和工艺技术领域。本发明包括上保温材料、上加热模块、籽晶、坩埚上盖、坩埚体、反应原料、下加热模块和下保温材料，所述上保温材料上开有测温窗，上保温材料的下端面设有上加热模块，下保温材料的端面上开有测温窗，下保温材料的内壁上设有凸起，坩埚上盖放置在下保温材料的凸起上，坩埚上盖与坩埚体连接，坩埚上盖与坩埚体之间具有籽晶，反应原料放置在坩埚体内腔中，下保温材料的内侧具有下加热模块。本发明结构简单，且在制备晶体时对反应原料加热更加充分，对反应原料温度控制更加有效。